机械设计

XENOS采用了机械设计理念。与标准桥式测量机不同：Y导轨分布于侧壁顶部，分离式移动行程轴仅横梁于Y轴方向移动，更小及恒定的移动重量——与移动式平台相比堪称优势。更低及恒定的移动重量造就了加速及高速的统一。

所有轴均采用线性驱动

XENOS的所有轴均采用线性驱动。其优点：高速、加速快、定位精度高、驱动无剪切力影响。结合高分辨率光栅尺技术，XENOS的线性驱动可获得高度稳定性及低于100纳米的高定位精度。例如，测针偏移量越恒定，即可获得测量精度。于测量曲面时更显见：测针的移动路径与预定值越吻合，即可实现的准确性。

碳化硅陶瓷

XENOS在与精度密切相关的机器部件上采用新的碳化硅陶瓷材料。迄今为止，该材料从未在类似产品或精度的测量机器上得到使用。与常规陶瓷相比，碳化硅陶瓷的热膨胀性降低约50%，而刚性则可提升30%，同时减重20%。与钢材相比，碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可获得两倍的刚性。

加强型VAST gold

XENOS采用蔡司VAST gold测量探头。在研发过程中，蔡司在测量精度和测量重复度方面对该探头进行了优化。XENOS也采用了新型刚性连接。VAST gold探头可与长度可达800毫米的测针以及重量高达500克的测针配套使用，包括非对称型测针。

优化的气浮轴承

强化处理气浮轴承具有优异的稳定性及测量精度。

改进的电子设计

通过电子设计，移动线缆对精度影响显著降低。计算机辅助精度修正（CAA）法和特殊附加CAA修正技术在获得高测量精度的过程中扮演着日趋重要的作用。